由于純水的活度高，極易溶解氣體，吸收空氣中的二氧化碳，所以超純水設(shè)備必須嚴(yán)格密封或充氮保護(hù)。如采用不銹鋼管輸送，內(nèi)表面要經(jīng)酸洗，盡量縮短輸送距離，同時(shí)要經(jīng)常殺菌防止微生物污染。新設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)前要對(duì)整個(gè)系統(tǒng)進(jìn)行滅菌，用活性炭和陽(yáng)離子交換樹脂在溫度105℃下，滅菌30-60min，或?qū)渲D(zhuǎn)變?yōu)殁c型后再用0.5%NaCIO溶液浸1-3h。一般一個(gè)月滅菌一次，對(duì)制藥工業(yè)每周滅菌一次。